在潔凈室測試中，微小風速和氣流測量很重要，對于諸多半導體產(chǎn)品的質(zhì)量把控更是有著不可替代的作用。依據(jù)不同的測試目的，相應(yīng)的風速測試方法也存在差異。

市面上大多數(shù)風速儀均為葉輪式風速儀，此類儀器在測量潔凈室微小風速方面存在短板，且難以實現(xiàn) 3D 氣流立體成像。鑒于此，科研人員精心研發(fā)出三維立體超聲波風速計，它能夠精準追蹤從微風 0m/s 延伸至高風速的整個過渡變化過程。

該設(shè)備的生產(chǎn)廠家運用獨特的超聲波檢測方式，因此無需因溫度變化而對儀器進行校正。除此之外，還可借助其檢測氣流的溫度狀況。無論是用于紊流室還是單向流潔凈室，這一風速計均具備精密檢測各個斷面以及每個點位處微小氣流變化的能力。

同時，借助氣流監(jiān)控軟件，能夠從多點、多角度記錄室內(nèi)各點的平均風速、標準偏差，并以畫面形式直觀顯示；還能通過三維畫面呈現(xiàn)風向的大小矢量圖，為使用者提供室內(nèi)仿真效果圖，以便更清晰地了解潔凈室內(nèi)的氣流情況。

FT-SWF2 三維超聲波風速儀是一款高性能風速儀。其采用不銹鋼外殼，耐腐蝕，可在惡劣環(huán)境下工作。

它利用超聲波測量氣體流速，通過測量超聲波在氣體介質(zhì)中的傳播速度差來計算風速，具有非接觸、高精度、實時性強等特點。風速測量范圍 0-70m/s，精度 ±3%，分辨率 0.1m/s；風向測量范圍 0-360°，精度 ±2°，分辨率 0.1°。

該儀器無機械轉(zhuǎn)動部件，不易損壞，維護成本低。采用微處理器和高精度的傳感器，保證了測量數(shù)據(jù)的準確性和穩(wěn)定性。其體積小、重量輕、安裝方便，可廣泛應(yīng)用于氣象、環(huán)保、能源等領(lǐng)域，為風速風向的測量提供有力支持。

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